SK海力士是全球知名的存儲器廠商，2021年2月1日，SK海力士M16新廠舉行了竣工儀式。 官方信息顯示，SK海力士將首次在M16配備EUV（Extreme Ultraviolet，極紫外）光刻機，通過在M16廠采用先進基礎設備，準備把新廠發(fā)展成為公司的下一代發(fā)展動力。據(jù)路透社報道，SK海力士于2月24日宣布，已與ASML簽訂了一項為期5年、價值4.8萬億韓元(約43.4億美元)的采購合同。SK海力士將購入價值4.8萬億韓元的EUV光刻機設備。SK海力士在一份監(jiān)管文件中稱，這筆交易是為了實現(xiàn)下一代工藝芯片量產(chǎn)的目標。 SK海力士計劃運用EUV光刻機，從今年下半年起生產(chǎn)第四代1a納米級DRAM產(chǎn)品。SK海力士今后將提高EUV設備利用率，進一步增強存儲器半導體相關的先進工程技術領導力。 SK海力士M16于2018年11月開建，工廠建設總投資3.5萬億韓元。M16廠將主要生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品，是SK海力士國內外生產(chǎn)設施中規(guī)模最大的工廠。